CKD小型流量感測(cè)器資料FSM2-PVR050-S063BK
種類：流量傳感器
模擬電壓輸出：DC1-5V
配管連接方向：左右
模擬輸出規(guī)格:電壓
電源電壓的種類:DC
輸出點(diǎn)數(shù)：3
電源電壓V：12...24V

CKD小型流量感測(cè)器資料FSM2-PVR050-S063BK

吸收FSM系列的勢(shì)并實(shí)現(xiàn)了更大的進(jìn)步。
繼承了異的應(yīng)答性，量程zui大擴(kuò)大到了1000L/min。
采用雙畫面和雙色顯示，并搭載自動(dòng)參考功能，操作便利性大幅度提高。
此外，實(shí)現(xiàn)了雙向測(cè)量，注入了新。

①與壓力感測(cè)器不相上下的高速應(yīng)答（應(yīng)答由管線的內(nèi)容積、壓力等決定）
②由于是通過流量探測(cè)的，因此不存在因壓力的變化而引起的調(diào)節(jié)、誤檢情形。
③可以探測(cè)出噴嘴或過濾器的孔口堵塞。
④通過流量探測(cè)，可以有效管理傾斜吸附等吸附錯(cuò)誤。
利用壓力感測(cè)器時(shí)有時(shí)差壓過小而無(wú)法判別，此
時(shí)根據(jù)流量可以準(zhǔn)確地進(jìn)行判別。
激光激發(fā)器、半導(dǎo)體制造裝置的N2氣體管理
處置的流量量程大。
內(nèi)嵌速控器型（特別訂購(gòu)品）可以
輕松對(duì)流量進(jìn)行控制。
各種泄露檢查
離子化器的流量管理
焊接氬、碳酸氣的流量管理
涂裝氣體的流量管理
吹掃氣體的流量管理
吸附確認(rèn)
與壓力感測(cè)器相比較（噴嘴直徑為Ф0.3、真空壓力為-70kPa時(shí)）